触針式形状測定のゴールドスタンダード

触針式プロファイリングシステムDektakXT®は、4Åの比類なき繰り返し性と最大40%のスキャン速度向上を可能にする革新的な設計を採用しています。この画期的な成果とその他の技術革新を兼ね備えたDektakXTは、独自の方法で薄膜、段差、および表面をnmレベルで計測します。これはマイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池、高輝度LED、医療、科学、および材料科学の各分野のさらなる進歩を促進するために不可欠です。


On Off

40年以上にわたるプロファイリングの革新


Dektakブランドは、初の薄膜計測用プロファイリングシステム、初のマイクロプロセッサベースのプロファイリングシステム、3D機能を備えた初のプロファイリングシステム、初のPCベースのプロファイリングシステム、初の300mm対応自動プロファイリングシステムを発売したことを誇りにしています。現在、DektakXTはこの「初」の試みに挑戦し続けています。このプロファイリングシステムは、シングルアーチ設計を初めて採用し、トゥルーカラーのHD光学カメラを初めて搭載し、64ビット並列処理を初めて装備して、最大限の計測効率と使用効率を実現しています。

Dektak timelineV2
Stylus Garstip v1

収集時間と分析時間の短縮


独自の直接駆動走査ステージを使用しているDektakXTは、業界最高の品質を維持したまま計測の走査時間を40%短縮します。ブルカーの64ビット並列処理の操作/分析ソフトウェアVision64は、3Dファイルの読み込み、フィルターの適用、およびマルチ走査データベース分析をより短い時間で実行します。

繰り返し性の高い計測


シングルアーチ構造を採用したDektakXTは一層頑丈になり、環境ノイズの発生源を減少します。DektakXTのアップグレードされた「スマートエレクトロニクス」は温度変動を減少し、エラーを誘起するノイズを最小限にする最新プロセッサを搭載しているため、10nm未満の段差を計測できる一層信頼性の高いシステムを実現しています。

Stylus wafer v1
Stylus vision64 v1

充実した操作と分析


ブルカーのVision64ソフトウェアは、DektakXTの革新的な設計に対応する、非常に直観的で合理的なビジュアルユーザーインターフェイスを備えています。インテリジェントなアーキテクチャとカスタマイズ可能な自動化機能の組み合わせにより、高速で総合的なデータ収集と分析が可能です。1回の走査に日常的な分析レシピを使用する場合、またカスタマイズしたフィルター設定や計算を適用する場合でも、DektakXTのデータアナライザーは現在のデータを表示するだけでなく、可能性のあるその他の分析も示します。



計測を簡単に


DektakXTの自動配置スタイラスとアセンブリにより、短時間で簡単にスタイラスのサイズを変更でき、また作業中の事故が防止されます。ブルカーは多様なスタイラスのサイズを提供しており、ほぼあらゆる用途に対応できます。


Stylus tip exchange v1
Dektak 3d hybrid circuit map v1


高い歩留まりを確保


DektakXTでは、ウエハ表面の薄膜の正確な厚さを比類なき繰り返し性で確認する自動マルチサイト計測ルーチンを迅速かつ簡単に設定し、実行することができます。この徹底的なモニタリングにより歩留まりを向上させ、貴重な時間と費用を節約できます。