Dektak XTL Automation
Dektak XTL bannerv v1

大型基板測定

新しい触針式プロファイリングシステムDektak XTL™は、幅広いアプリケーションにおいて極めて高い測定精度、繰り返し再現性を実現する測定システムです。350 mm x 350 mmまでの試料セットに対応することで、定評あるDektakシステムの性能を200 mmおよび300 mmウエハ製造工程においても活用可能になりました。


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DektakXTL operator v1

Dektak XTLは、設置面積が狭く、スライドドア、カバーと統合された防振台により、今日の要求の厳しい製造現場の環境に最適です。デュアルカメラアーキテクチャは、空間認識の向上を可能にし、高度な自動化により製造スループットを向上させます。オプションのパターン認識を備えたBruker独自のVision64アドバンスドプロダクションインターフェースは、データ収集を直感的で再現性のあるプロセスにし、オペレータ間のばらつきを最小限に抑えます。

新しいソフトウェア機能により、Dektak XTLは最も強力で最も使いやすいスタイラスプロファイラとなりました。このシステムは、Brukerの光学プロファイラ製品と完全に互換性のあるVision64ソフトウェアを使用しています。 Vision64ソフトウェアは、無数の測定サイト、3Dマッピング、そして何百もの内蔵分析ツールで高度にカスタマイズされた特性評価を可能にします。

Vision Microformソフトウェアを使用して曲率半径などの形状を測定することもできます。オペレータのエラーを最小限に抑え、測定位置の精度を高めるためにパターン認識を使用します。データ収集と2Dおよび3D解析は、直感的な流れで1つのソフトウェアパッケージにまとめられています。各システムには、Windows 10 OSを搭載した別のPCにインストールできるVisionソフトウェアライセンスが付属しているので、データ分析とレポートをデスクで作成できます。

DektakXTLVision64 screenshot

卓越した性能と使いやすさを兼ね備えたDektak XTLは、タッチパネル、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、半導体分野の産業用薄膜形成モニタリングの研究およびQA/QCでの評価において、新たな標準装置となる製品です。