D8 DISCOVER Plus, X-ray diffraction

極薄膜や超格子構造薄膜のX線反射率測定

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現代の電子デバイスにおいて、表面、超薄膜および多層膜の物理的特性を制御することは重要な項目のひとつです。X線反射率測定 (X-Ray Reflectivity: XRR) は、サブナノメートルスケールまでの薄膜の構造特性を非破壊かつ校正を必要とせずに行うことができる、とてもユニークな解析アプローチです。その解析の結果、膜が非晶質、液体、多結晶またはエピタキシャルであるかどうかに関係なく、膜厚、ラフネス、密度や化学組成などの情報を得ることができます。

薄膜サンプルのXRR分析を詳細に行うためには、密度プロファイルにおいて適切な分解能を実現するために、可能な限り広い角度範囲にわたって反射強度をスキャンすることが肝要です。スキャン範囲を最大化するためには、高強度のX線ビーム、低減された空気散乱、高いダイナミックレンジと低いバックグラウンドノイズの検出器が必要となります。

このレポートでは、ATLAS™ゴニオメーターと高効率X線源 TXS-HE を搭載したD8 DISCOVER PlusをX線反射率測定 (XRR) に使用するメリットを紹介しています。

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