D8 DISCOVER Plus, X-ray diffraction

薄膜材料の迅速逆格子空間マッピング測定

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エピタキシャル薄膜材料の構造特性は、半導体、光電子工学、強誘電体やスピントロニクスデバイスの機能制御にとって有効なパラメーターです。XRDを用いた逆格子空間マッピング (Reciprocal Space Mapping: RSM) は、試料面法線および面内の格子歪み、組成およびドメイン効果を非破壊で評価できるため、結晶性薄膜の構造を特徴づけるデファクトスタンダードです。

一般的に、RSMは基板と薄膜の回折強度を逆格子空間の特定の範囲を2次元的にマッピングするため、一連のスキャンを繰り返す必要があり、従来型検出器では測定に長い時間を必要とします。

このレポートでは、ATLAS™ゴニオメーターと高効率X線源 TXS-HE を搭載したD8 DISCOVER Plusを使用して、極めて短時間でRSM測定を行う技術 RapidRSM™ のメリットを紹介しています。

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