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DIFFRAC.XRRソフトウェア - データ解析の2つのアプローチ

FFTを用いた迅速XRR解析

Quick XRR analysis using FFT estimation

膜厚だけが知りたいときは、どの手法が最適でしょうか?

DIFFRAC.XRRは、XRR解析を再定義します。たった一度、マウスをクリックするだけで、高速フーリエ変換 (FFT) により、XRR測定結果に応じた膜厚プロファイルが画面に追加され、知りたい膜厚を瞬時に解析します。

FFT解析法のメリットは、評価対象試料の詳細が未知であっても用いることができる、"モデルフリー"解析である点です。

完全フィッティングによる精密XRR解析

Detailed XRR analysis via full fitting

すべてのパラメーターを正確に知りたいときは、どの手法が最適でしょうか?

動力学的理論に基づき、DIFFRAC.XRR正確なXRRプロファイルをシミュレーションすることができます。さらに、さまざまな最適化アルゴリズムを用いたフィッティングにより、膜厚やラフネス、密度と言ったパラメーターを最適化します。

装置関数やバックグラウンド、試料へのX線照射幅など、実験的な効果はすべて適切に見積もられ、XRRプロファイルに反映されます。高速かつ信頼性の高いフィッティングアルゴリズムにより、高速に解析が行われ、信頼性の高い結果につながります。

包括的なマテリアルデータベース

Comprehensive material database

DIFFRAC.XRRは包括的でユーザーによる拡張可能なマテリアルデータベースを有します。このデータベースは、非晶質、結晶性材料、さらには最大で四元系の固溶体材料に対応します。

このデータベースは、吸収や侵入長、屈折率や分極率など、さまざまなX線パラメータを元に、構造因子や回折パターンを計算する機能を有します。

DIFFRAC.XRRは新たなスタンダードを定義します:サンプルモデル作成における新しいユーザー定義変数の使用は、柔軟性とアプリケーション範囲を大幅に拡張します。

比類のない自由度を備えたサンプルモデルエディター

Sample model definition with unparalleled flexibility

シンプルな単相モデルから、より複雑な人工超格子構造や傾斜膜でさえも、DIFFRAC.XRRは難なく解析可能です。

多彩な界面ラフネスモデルを用いることで、異なる成長モルフォロジーを有するサンプルも正確に記述できます。層パラメーターのリンク機能は、変数に制限を与え、より高速な解析を実現します。

変数の自由度を上げることで、サンプルモデルの柔軟性に新しい基準を設定します。

拡張レポート機能

Extensive reporting capabilities

DIFFRAC.XRRは、論文投稿可能なグラフや全解析結果を出力する、すぐれたレポート機能を有します。

また、ユーザーの希望に応じた独自のレポート形式を構築し、それをテンプレートとして保存することもできます。

レポートは直接印刷するほか、PDFファイルとして共有したり、WORD (.docx) ファイルでさらに編集したりする機能を有します。

自動化プロセス

Automation

これまで、X線反射率測定結果の解析は、ルーティーン化することが困難でした。

DIFFRAC.XRRでは、独自のマクロを記録して、1回の実行またはステップバイステップモードで何度も繰り返すことができます。 ワークフローは、測定データの読み込みから結果のレポートに至るまで、分析を補助したり、完全に自動化して実行したりします。