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DIFFRAC.XRRソフトウェア

統合的X線反射率解析の選択肢

さまざまな材料における表面、極薄単層膜や多層膜の物理的な特性を知ることは、それらをデバイスとして使用する際に、きわめて重要です。

X線反射率 (X-ray reflectivity: XRR) は、サブナノメートルオーダーに至るまでの構造評価手法として、非破壊かつ校正不要な唯一のアプローチです。それらのパラメーターには、膜厚、ラフネス、密度や膜組成と言った情報が含まれます。さらに、その薄膜が液体、非晶質、多結晶やエピタキシャルなどの状態に依存しません。

DIFFRAC.XRRは、X線反射率測定結果の解析用にデザインされた、強力で使いやすいソフトウェアスイートです。

本ソフトウェアは、ユーザーの希望に添うため、2つの異なる解析アプローチを備えています:ワンクリック高速フーリエ変換を用いた直接膜厚の算出と、測定データにサンプルモデルを適用するシミュレーションフィッティング解析です。

  • 高速フーリエ変換法を用いた迅速膜厚評価
  • 動力学的理論に基づく、サンプルモデルを用いた精密なXRRプロファイルフィッティング解析
  • マクロの保存や段階的実行を含む高度な自動化とワークフロー機能
  • テンプレート機能を備えた強力で幅広いレポート作成機能
  • 包括的かつ拡張可能なマテリアルおよびサンプルデータベース

DIFFRAC.XRR (英文パンフレット) のダウンロードは こちらから