X-ray Metrology, wafer

X線を用いた薄膜解析技術

X線計測はX線を用いた薄膜解析技術で、1層以上の薄膜構造において、層厚と組成、密度とラフネス、またはエピタキシャル成長した膜の格子定数とひずみの状態を評価することができます。精密なデータを得るためには、いくつかの補完的な手法を組み合わせることができます。

もっと詳しいX線計測技術について知りたい場合、以下のリンクをクリックください。HRXRD、XRR、μ-XRFなどX線お用いた薄膜評価手法の技術的な特長を記載しています。