D8-FABLINE, X-ray metrology solution

X線評価装置

半導体産業では、より微細なデバイス、また、よりピュアな化合物の製造に、且つ、より高い生産性でと、連続的な挑戦が行われています。 ブルカー社では、プロセスをモニターするための高速で高精度な測定手法を、世界で最先端の技術で提供します。

X線法は、非破壊で半導体材料の各種物理パラメータを得る手法を提供します。 X線は、その波長が材料の結晶面間隔と匹敵するため、各種の半導体試料に適応する天然のプローブです。

R&D目的や製造工程の品質管理目的のいずれに対しても、300mm、及び、450mmウェーハまで、50μmの空間分解能で、モニターが可能です。 ブルカー社は、貴社の必要性に適合するための最適な解決策を提供します。