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O sistema de análise de silício criogênico (CryoSAS) da Bruker Optics é um sistema dedicado integrado para análise de impureza do silicone em baixa temperatura (<15K). O CryoSAS é otimizado para operações no ambiente industrial.

O CryoSAS combina os espectrômetros FT-IR de alta performance da Bruker com a técnica integrada de criorrefrigeração de ciclo fechado que não requer hélio líquido. Todos os componentes do CryoSAS são de última geração e ainda utilizam tecnologias consagradas para realizar uma análise complexa no ambiente exigente de produção de silício. O CryoSAS pode ser operado em tal nível de automação incluindo relatórios precisos de resultados de análises.

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Outras características:

Alta sensibilidade:

O CryoSAS analisa impurezas puras (p. ex. boro, fósforo, etc.) até o nível ppta em conformidade com o padrão ASTM/SEMI MF1630. Além disso, ele analisa carbono e oxigênio simultaneamente até o nível baixo ppba em conformidade com o padrão ASTM/SEMI MF1391.

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CryoSAS Messergebnisse für Kohlenstoff (siehe oben) sowie für die flachen Störstellen Bor und Phosphor (siehe unten) bei tiefen Temperaturen (~12 K)

Os resultados do CryoSAS para carbono (veja acima) assim como boro e fósforo (veja abaixo) em baixas temperaturas (~12 K).

Sistema de refrigeração criogênica de ciclo fechado: não requer líquido criogênico caro

Sistema de criorefrigeração de ciclo fechado de alta confiabilidade para refrigeração do detector e câmara de amostra. Comparado com um sistema de refrigeração com hélio líquido, o sistema de ciclo fechado pode economizar 50 mil Euros por ano e ainda mais.

CryoSAS low temperature sample compartment with automated 9 position sample holder.

O compartimento de amostra de baixa temperatura do CryoSAS com suporte de amostras automatizado de 9 posições.

CryoSAS main software screen displaying the currently loaded samples and the chosen analysis methods.

Tela principal do software CryoSAS exibindo as amostras carregadas no momento e os métodos de análise escolhidos.

Design da câmara de amostra de aço inoxidável:
fácil acesso às amostras

Design de câmara de amostra consagrado com conjunto óptico estacionário e cabeça de amostra automatizada. O amplo diâmetro interior da câmara de amostra possibilita um acesso facilitado ao suporte de amostra.

Bomba dianteira a seco e bomba turbo:
operação do sistema de vácuo simples e limpo

Esvaziamento rápido e confiável via bomba de arrasto e bomba dianteira a seco.

Motor de passo robusto e preciso com suporte para amostra de nove posições:

A resistente atuação linear ligada ao suporte de amostra permite diversas análises de amostras. O motor de alto torque e o sólido mecanismo de atuação garantem uma indexação precisa da amostra e muitos anos de funcionamento confiável. As amostras podem ser instaladas e removidas facilmente e o suporte de amostra pode ser colocado na câmara quase sem nenhum esforço. O design do suporte de amostra de cobre OFHC revestido com ouro assegura uma temperatura uniforme.

Fácil de usar:

O CryoSAS é otimizado para operações no ambiente industrial. Todos os dispositivos de refrigeração e vácuo são controlados por um PLC. Resfriar e iniciar a medição é uma simples operação de apertar botão. O usuário NÃO precisa ser um especialista em espectrografia ou vácuo.

O software dedicado do CryoSAS foi desenvolvido para satisfazer às necessidades de controle de qualidade industrial. Ele é fácil de usar e pode ser operado via touchscreen. O usuário precisa apenas escolher o método de análise desejado, inserir as informações de amostra e pressionar o botão start. CryoSAS irá resfriar as amostras automaticamente, iniciará a medição infravermelha, avaliará os resultados e criará um relatório de análise.

Especificações

Faixa espectral: 1500 – 280cm-1 otimizado para a detecção de

  • impurezas rasas do grupo III e V em silício monocristalino em conformidade com ASTM/SEMI MF1630. Para amostras sólidas com uma espessura de aproximadamente 3mm, os seguintes limites podem ser obtidos:
    - 10ppta fósforo
    - 30ppta boro
  • carbono de substituição conforme ASTM/SEMI
    MF1391. Este método requer uma amostra de referência FZ sem carbono, com superfície e espessura comparáveis ao espécime da amostra.
    Para uma amostra sólida com uma espessura de aproximadamente 3mm, é possível detectar concentrações de carbono de até 20ppba.

As tecnologias usadas são protegidas por uma ou mais das seguintes patentes: US 7034944; US 5923422; DE 19940981

Typical CryoSAS analysis report including all relevant informations and results.

Típico relatório de análise do CryoSAS contendo todas as informações relevantes e resultados.

 

 

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