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Único instrumento de metrologia por MFA para a indústria de semicondutores

Perfilometria automatizada de força atômica para metrologia de corrosão e planetarização química-mecânica a 65nm.

O Dimension AFP é o único instrumento de metrologia do mundo voltado especificamente à perfilometria de polimento químico-mecânico (CMP) e metrologia de profundidade de corrosão, para núcleos tecnológicos existentes e futuros. O sistema combina a resolução excepcional de um MFA com a capacidade de varredura exploratória de uma perfilômetro de força atômica para o

monitoramento da profundidade de corrosão, dishing e erosão em estruturas submicrométricas, com repetibilidade insuperada. Substituindo o processo custoso de cross-sectioning de wafers, o Dimension AFP oferece a mais alta performance do mercado para caracterização de dispositivos.