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Resolução em nível atômico para todas as necessidades da metrologia de 450 mm

Solução de metrologia em uma ferramenta para profundidade, CD, ângulo de parede, perfil e rugosidade em "wafers" de 450 mm

Com base na comprovada plataforma InSight® 3DAFM para 300 mm, a solução InSight-450 3DAFM é ideal para uma ampla gama de aplicações de rugosidade, profundidade e CD. Seus recursos incluem a validação bruta de processo em "wafer", caracterização de rugosidade e metrologia de defeito de corrosão/ressalto/arranhão, qualificação de substrato recebido, desempenho de deposição em película fina e epitaxial com microrrugosidade ou nanorrugosidade e precisão de altura em angstrom; metrologia de profundidade de corrosão para desenvolvimento e controle de processo, medição de perfil de resistência em linha com CD, SWA e LER com

perfis do tipo TEM completos e desempenho de planeza CMP para monitorar concavidades e erosão. A flexibilidade da solução InSight-450 mm AFM permite que todos esses aplicativos estejam disponíveis em apenas uma ferramenta, reduzindo o custo total de metrologia. A solução InSight-450 3DAFM oferece esse recurso sem necessidade de modelagem, rastreabilidade NIST total e nenhum dano de material ou "waffer", o que faz dela a ferramenta ideal para fornecer informações com rapidez no desenvolvimento de processo de 450 mm, com escalabilidade para a produção de 450 mm.