D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Soluções em Metrologia para a Indústria de Semicondutores

As unidades funcionais de dispositivos de compostos semicondutores continuamente diminuem em tamanho e espessura.

 

Além disso, a estrutura dos dispositivos torna-se cada vez mais complexa e o processo cada vez mais caro. Assim, a exigência por análises confiáveis, tais como a difração de raios X, para o desenvolvimento do processo e o controle da qualidade na linha de produção, aumenta constantemente.

Por que difração de raios X?

Primeiro: A difração de raios X é um método não-destrutivo de investigação em escala nanométrica, que fornece vários parâmetros essenciais sem a necessidade de ser referenciado. 

Segundo: o método é conhecido e aceito por sua precisão e confiabilidade há muitos anos, na área da ciência, de pesquisa e desenvolvimento. Em muitos casos, apenas uma rápida análise por difração de raios X é suficiente para determinar os parâmetros de uma amostra, tais como: espessura da camada, rugosidade, densidade e composição química; porosidade; parâmetros de rede, gradientes, deformações e grau de relaxação; orientação preferencial, textura, estresse e tensão - tudo isso, com uma resolução local menor que 10 µm quadrados.

D8 FABLINE Apresenta um robô, manipulando “wafer” (pastilhas)

Com a introdução do D8 FABLINE, a flexibilidade analítica e a confiabilidade - conhecida para a família D8 DISCOVER usada em pesquisa e desenvolvimento, são agora transferidas para ambientes que exigem uma sala bastante limpa. O D8 FABLINE apresenta um robô, que manipula “wafer” (pastilhas) de até 300 mm de diâmetro, no qual ele pode ser equipado com duas portas FOUP para análises de rotina em controle de qualidade. Medidas e análise de dados podem ser totalmente automatizados e, se necessário, a Bruker AXS fornece o serviço completo para ajustar as análises às exigências do processo. Além disso, a interface SEC/GEM pode ser adaptada às necessidades dos usuários e, reconhecimento de padrões ou códigos de barras com capacidades de leitura, podem ser integrados. 

D8 FABLINE - um equipamento analítico robusto para as exigências dos semicondutores.

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Faça o download do nosso catálogo em PDF D8 FABLINE – Soluções em Metrologia de raios X