D8-FABLINE, X-ray metrology solution

A solução de metrologia de raios X

O setor de semicondutores enfrenta o desafio contínuo de produzir dispositivos menores e compostos mais puros, tudo com o mais alto rendimento. A Bruker oferece tecnologia que é líder mundial em medições rápidas e precisas no monitoramento de processos.

Métodos de raios X oferecem uma maneira não destrutiva de obter um grande conjunto de parâmetros físicos de materiais semicondutores. Com um comprimento de onda compatível com os respectivos espaçamentos de treliças cristalinas, os raios X são uma sonda natural para qualquer tipo de amostra de semicondutor.

É possível monitorar "wafers" de até 300 mm, com aproximadamente 50 µm de resolução espacial, seja para finalidade for R&D ou para controle de produção de rotina. A Bruker oferece soluções sob medida para atender suas necessidades experimentais.

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