Dimension-AFP_527x245.png

Единственный в мире АСМ с функцией бомбардировки ускоренными атомами

Автоматическое атомно-силовое профилирование для химико-механической планаризации поверхности и травления при 65 нм.

Dimension AFP – первый в мире метрологический инструмент с функцией бомбардировки ускоренными атомами, разработанный специально для комплексного молекулярного профилирования и измерения глубины травления для существующих и будущих технологических устройств. Система объединяет в себе высочайшее разрешение АСМ и возможностями долгого сканирования

атомно-силового профилометра для наблюдения глубины травления, коробления и эрозии на субмикронах с непревзойденной воспроизводимостью. Заменив дорогостоящее слоистое поперечное сечение, Dimension AFP предлагает самый высокий уровень эффективности среди устройств для измерения характеристик.