D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Измерительная система для полупроводниковой промышленности

Функциональные модули устройств на основе полупроводников и полупроводниковых соединений непрерывно уменьшаются в размерах.

 

Кроме того, структура этих устройств становится все более и более сложной, а их производство все более и более дорогостоящим. Поэтому потребность в надежном методе анализа, таком как рентгеновская дифрактометрия, для разработки новых технологий и контроля качества в процессе производства становится все более острой.

Почему рентгеновская дифрактометрия?

Во-первых, рентгеновская дифрактометрия  это неразрушающий метод анализа на нанометровом уровне, что позволяет определять множество важных параметров материалов без использования стандарта.

Во-вторых, за годы использования в научных исследованиях и разработках этот способ показал себя в высшей степени точным и достоверным. Во многих случаях достаточно провести только одно быстрое рентгенодифракционное измерение, чтобы определить такие параметры образца, как толщина слоя, зернистость, плотность и химический состав; пористость; межплоскостные расстояния, градиенты, дефекты и степень релаксации; предпочтительная ориентация, текстура и напряжения – все с разрешением до 10 мкм.

D8 FABLINE оснащен роботизированным горизонтальным прободержателем

Серия D8 DISCOVER, используемая в исследовательских разработках, славится аналитической гибкостью и надежностью, которые с появлением D8 FABLINE стали доступны в требовательных условиях «чистой комнаты». D8 FABLINE оснащен роботизированным горизонтальным прободержателем диаметром до 300 мм, а также двумя FOUP-интерфейсами для проведения рутинного анализа при контроле качества. Можно полностью автоматизировать измерения и анализ данных, и, при необходимости, Bruker AXS обеспечивает настройку оборудования для соответствия технологическим требованиям. Более того, интерфейс SEC/GEM можно адаптировать в соответствии с требованиями оператора, включая интегрированную систему распознавания образов или штрих-кодов.

D8 FABLINE – это «рабочая лошадка» для анализа полупроводников.

Дополнительная информация

Download our D8 FABLINE – Рентгеновские измерения Брошюра в формате PDF

Related Information