Рентгеновская метрология

Решения в области рентгеновской метрологии для производства полупроводников

D8 FABLINE является полностью автоматизированным инструментом для рентгеновской метрологии в производстве полупроводников с возможностью применения как на начальном, так и на конечном этапе технологического процесса и упаковке. Независимо от того, применяется ли устройство для научно-исследовательских целей или для контроля качества производства, D8 FABLINE обеспечивает быстрый, неразрушающий высокоточный тонкопленочный анализ на поверхностном слое или структурных пластинах. D8 FABLINE специально изготовлен для конкретных сфер применения и для удовлетворения ваших потребностей.

В конфигурации рентгенографии с высоким разрешением (HRXRD) устройство выполняет анализ толщины, состава и сортовой анализ на эпитаксиальных слоях. В режиме рентгеновской рефлектометрии (XRR) возможно определение толщины, плотности и шероховатости тонких мультислоях. Модуль µ-XRF предназначен для анализа состава и толщины пакетов металлической пленки. Возможно также комбинированное использование нескольких устройств.

Related Information