D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Решение для рентгеновской метрологии

Производство полупроводников постоянно развивается, постоянно растут потребности в производстве все более компактных устройств и поиске более чистых составляющих, и все это в условиях увеличения производства. Компания Bruker предлагает не имеющую аналогов в мире технологию для быстрых и точных измерений в целях технологического контроля.

 

Рентгеновские методы обеспечивают неразрушающий способ получения широкого спектра физических параметров полупроводниковых материалов. Длина волны совпадает с промежутками в соответствующей кристаллической решетке, следовательно, рентгеновские лучи являются естественным зондом для любого типа образцов полупроводников.

Возможен мониторинг полупроводниковых пластин толщиной до 300 мм с пространственным разрешением около 50 µм для научно-исследовательских целей или же ежедневного производственного контроля. Компания Bruker предлагает специально разработанные решения для удовлетворения ваших экспериментальных потребностей.

Related Information