Dimension Edge PSS 527x247

圖形化藍寶石基板(PSS)的三維測量和過程控制

 

AutoMET:具有原子力顯微鏡三維解析度的自動測量和產品監測

布魯克的Dimension EdgeTM PSS原子力顯微鏡結合AutoMETTM測量軟體是LED基板和外延工藝生產商理想的奈米測量和監測系統。結合了著名的Dimension系列原子力顯微鏡的 高解析與物超所值,作為Dimension Edge的擴展,Edge PSS提供了適合產線要求的基板測量方案。

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