Sytlus,surface measurement,profiler,roughness measurement

探針式輪廓儀的黃金標準

DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設計創新,實現了垂直高度重復性高達4埃,數據采集能力提高了40%。這壹裏程碑的創新和突破,使得DektakXT實現了納米尺度的表面輪廓測量,從而可以廣泛的應用於微電子器件,半導體,電池,高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。


On Off

技術創新四十余載,不斷突破用攀高峰


Dektak品牌是首臺基於微處理器控制的輪廓儀,首臺實現微米測量的臺階儀,首臺可以達到3D測量的儀器,首臺個人電腦控制的輪廓儀,首臺全自動300mm臺階儀。現在,全新的DektakXT延續了這種開創性的風格,成為世界第壹臺采用具有具有單拱龍門式設計,配備全彩HD攝像機,並且利用64位同步數據處理模式完成最佳測量和操作效率的臺階儀。

Stylus Garstip v1

提高測量和數據分析速度


首次采用獨特高速的直接驅動掃描樣品臺,DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時間,將數據采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布魯克具有64位數據采集同步分析的Vision64,可以提高大範圍3D形貌圖的高數據量處理速度,並且可以加快數據濾波和多次掃描數據庫分析的速度。

提高操作的可重復性


使用單拱龍門結構設計更堅硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統和環境噪音引起的測量誤差降到最低,能夠更穩定可靠的掃描高度小於10nm的臺階,獲得其形貌特征。

Stylus wafer v1
Stylus vision64 v1

完善的數據采集和分析系統


與DektakXT的創新性設計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上最實用簡潔的用戶界面,具備智能板塊,可視化的使用流程,以及各種參數的自助設定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡便的實現各種類型數據的采集和分析。



簡便易行的實驗操作系統


DektakXT新穎的探針的部件自動對準裝置,可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應用的需求,布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針。


Stylus tip exchange v1
Dektak 3d hybrid circuit map v1


高效率的保證


DektakXT卓越的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量,使其可以精確調節刻蝕和鍍膜工藝來提高產品的優良率。