未知多相材料的物相识别和分布分析

图1.1：描绘Fe-Si陶瓷复合合金材料微观结构的花样质量图；EBSD 和 EDS 图是分别使用安装在 JSM IT200 SEM 上的 eFlash XS 和XFlash EDS 探测器同步采集的。

QUANTAX ED-XS 是一个完美集成 EDS 和 EBSD 的系统，适合使用 EDS 或 EBSD 单独或同时分析的各类应用。它创新而强大的功能与优化的工作流程相结合，简化了数据采集过程，在分析样品中未知的晶体相过程中最大限度地提高了SEM效率。

通过同时获取 EBSD 图和 EDS HyperMap，在无需了解样品物相的情况下，可最大限度地减少 SEM 的使用。在我们采集数据后，可将包含 EDS 和 EBSD 数据的图进行离线处理，以舒适高效的方式使用 ESPRIT 2'超快再分析模块，识别存在的所有物相并快速完成解析。

图1.2：花样质量图与Si晶粒（红色）的物相图重叠；为了最大限度地减少在未知样品上设置物相的时间，布鲁克 EBSD 测量可以只设置一相然后启动采集，无需添加所有物相；这样所有其它物相都可以离线识别，在后期使用 ESPRIT 软件的极端再分析功能完成分析

图1.3：离线使用"Advanced Phase ID"功能（第一部分）；多种自动和半自动功能有助于用户完成这一过程，例如，基于 EDS 结果对物相候选项进行半自动搜索，所有候选物相自动和超快标定，基于符合实验花样的结果自动分类排序等。

图1.4：离线使用的"Advanced Phase ID"功能（第二部分）；天蓝色的区域表示锆硅晶粒（ZrSi2）；EBSD结果图在 13 秒内以超过 24，000 点/秒的速度重新分析。

图1.5："Advanced Phase ID"功能的离线使用（第三部分）；Fe-Si陶瓷材料的完整物相图，其中包含六个不同晶体相；6个物相的重新分析需要48秒，速度超过6，500点/秒。未应用数据清理！

图1.6：EDS HyperMap，显示Fe-Si陶瓷合金中Ti、Ca、Zr、Ag和C图的分布图。图中30.9万个像素点，每一个点都包含一个 EDS 谱，这些谱图是在 EBSD 图采集过程中同步获得的；Ag 和 C 的富集区是由于 Ag 糊状物以及环氧树脂材料在抛光过程中嵌入样品中裂纹或孔隙。