Automatisierte Entfaltung und Quantifizierung von Peaküberlagerungen in MoS2

Abb. 1: REM-Bild und Messpunkt auf der Probe

Molybdändisulfid (MoS2) ist das primäre Erz für Molybdän, mit einem breiten Anwendungsspektrum. Es wird in der Industrie vielfältig eingesetzt, z.B. bei Katalysatoren, Pigmenten, Stahllegierungen oder Hochtemperaturanwendungen.

Molybdändisulfid ist ein Material, welches früher manchen Anwender vor eine analytische Herausforderung stellte, da eine exakte Quantifizierung, durch die starke Peaküberlagerung von der K-Linie des Schwefels (S) mit der L-Linie des Molybdäns (Mo), eine exakte Entfaltung erschwerte. Zusätzlich kann, wie in diesem Beispiel, eine raue Oberfläche manches analytische System vor eine Herausforderung stellen.

Für die Punktanalyse (Abb. 1) wurde der   XFlash® FlatQUAD Detektor verwendet. Ein spezieller Hochleistungs-EDS-Detektor von Bruker, der unter dem Polschuh, direkt über der Probe sitzt. Die Spektren wurden mit der analytischen Software ESPRIT 2 von Bruker entfaltet und quantifiziert. Durch die leistungsstarken Entfaltungs-, Linienfit- und Quantifizierungsmethoden von ESPRIT konnten die einzelnen Peaküberlagerungen automatisch identifiziert, angepasst und quantifiziert werden (Abb. 2, Abb. 3). Die standardlose Quantifizierung des Spektrums ergab die atomare Konzentration von Mo und S sehr nahe an der stöchiometrischen, zertifizierten Konzentration.