Schichten & Beschichtungen
Optimierung der Leistung von Dünnschichten und Beschichtungen durch quantitative nanomechanische und nanotribologische Charakterisierung
Dünnschichten und Beschichtungen werden für ein breites Spektrum von Anwendungen eingesetzt und verleihen den zu entwickelnden Produkten ein bestimmtes Leistungsmerkmal. Jedes Dünnschicht- und Beschichtungssystem hat eigene Herausforderungen in Bezug auf die Material- und Prozessentwicklung, die Integration und die Materialcharakterisierung. In einigen Branchen, wie z. B. bei magnetischen Speichermedien und Halbleitergeräten, werden ultradünne Schichten verwendet, die für die quantitative Analyse ein erstklassiges Grundrauschen erfordern. Andere Industrien, wie z. B. im Bereich der Korrosions- und Verschleißschutzbeschichtungen, verwenden dickere Beschichtungen und benötigen lokalisierte Eigenschaftsmessungen, um die nächste Leistungsstufe erfassen und entwickeln zu können.
