非接触三次元白色干渉型顕微鏡

三次元白色干渉型顕微鏡による電子材料測定<最前線>ウェビナー

近年の、電子材料の加工技術の高度化・高精密化に伴い、微細な表面形状の評価技術は、より高い精度・正確さが求められます。今回は電子材料をテーマに、短い測定時間で、非接触でナノからミリまで表面形状を観察できる三次元白色干渉型顕微鏡による測定原理やレーザー顕微鏡との違いや、メリット、マイクロエレクトロニクス分野の最新測定事例をご紹介致します。

内容


近年の、電子材料の加工技術の高度化・高精密化に伴い、微細な表面形状の評価技術は、より高い精度・正確さが求められます。今回は電子材料をテーマに、短い測定時間で、非接触でナノからミリまで表面形状を観察できる三次元白色干渉型顕微鏡による測定原理やレーザー顕微鏡との違いや、メリット、マイクロエレクトロニクス分野の最新測定事例をご紹介致します。

<形式>
ウェビナー(オンラインによるWEBセミナー)※お持ちのPCにてインターネット経由でのご参加となります。インターネットに接続できる環境でお手元のパソコンや各種モバイル端末からご参加いただけます。

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<参加費>
無料

2022年3月18日(木)
13:30~14:10(日本時間)
※13:15 ログイン受付開始

プレゼンター

ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーション部 寺山 剛司