Hysitron PI 80 用于SEM的纳米压痕仪
Hysitron PI 80 用于SEM的纳米压痕仪
Bruker的PI 80 SEM PicoIndenter是专门设计用于增强扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM、PFIB）的成像能力的纳米力学测试设备。有了这种基本的纳米压痕工具，可以在用SEM成像的同时进行定量的原位纳米机械性能测试。PI 80采用Bruker业界领先的电容式传感器，在纳米尺度上提供了卓越的性能和稳定性。其紧凑、扁平的设计使该仪器非常适合小腔室SEM，以及独立的拉曼和光学显微镜、光束线等。凭借其功能、测试模式和可选附件的组合，PI 80 SEM PicoIndenter为SEM内部的高级纳米机械性能测试提供了良好的支持。
与SEM图像同步的原位力学测试数据
用Hysitron PI 80采集的原位机械数据与SEM成像同步，并以并排视频格式显示。同时进行的机械测量和SEM数据能够更全面地了解材料的变形行为。在左边的例子中，载荷位移数据中的不连续性与在含有铜互连和脆性介电材料的FIB悬臂梁中观察到的断裂起始点相关。
专门用于增强您的扫描电镜
凭借Bruker紧凑的专利电容式传感器，Hysitron PI 80可以直接安装在SEM台上，而不是在显微镜腔体中的永久固定。样品台可容纳厚度高达20毫米的样品，同时在所有三个方向（XYZ）上提供超过3毫米的精确样品移动范围。此外，样品台和传感器的机械集成为纳米机械测试提供了一个稳定、刚性的平台。总的来说，这种原位仪器能够优化载物台倾斜和工作距离，以进行同步SEM成像和标准纳米力学测试。
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