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EDS, WDS, EBSD, Micro-XRF on SEM Webinar

What’s EDS Analysis? How Do We Analyze it Well?

Basics of EDS analysis

走査電子顕微鏡(SEM)による元素分析は、主にEDS法により様々な分野で広く行われています。最近のSEMは空間分解能もよくなりナノオーダーの分解能で像観察が可能となっています。このような中、EDS法による元素分析もこれまでのように高加速電圧で電子線を照射し単にスペクトルを測定するといったやり方ではなく、目的に合わせて条件を変えて測定を行うことが重要になってきました。今回はEDSの原理からEDSでうまく元素分析を行うにはどのようにしたらよいかを簡単にご紹介します。 

This webinar is held in Japanese.