Da Röntgenstrahlen Probenmaterie besser durchdringen kann, ist die Mikro- Röntgenfluoreszenz eine ideale ortaufgelöste analytische Technik zur Bestimmung von Schichtsystemen. Mit der Mikro-XRF auf REM lassen sich somit Schichtsysteme (Dicke und Zusammensetzung) mit räumlicher Auflösung im Mikrometer Bereich schnell und einfach analysieren. Typische Anwendungen sind metallische Beschichtungen auf Wafern, Multielement-Beschichtungen und Solarzellen. Die Schichtdickenquantifizierung basiert auf dem (standardfreien) Ansatz der Verwendung atomarer Fundamentalparameter (FP). Die Genauigkeit der Quantifizierungsergebnisse lässt sich durch die Verwendung von Standards noch weiter verbessern. Durch den standardfreien Ansatz eignet sich die Schichtdickenanalyse am REM insbesondere für neuartige Schichtsysteme in der Forschung & Entwicklung.