2025年3月25日(火) アットビジネスセンター東京駅八重洲通り
講演時間 13:00~17:00
AFMミーティング2025【東京】
テーマ:AFMを用いたマイクロ・ナノエレクトロニクスデバイス評価技術
本ミーティングでは、EUV、電子デバイス、パワーデバイス半導体、不良・欠陥解析をトピックスとしたAFM、AFM-IR評価事例や、磁気抵抗効果素子の評価などによる技術動向や事例をご紹介致します。ブルカーからはAFM、AFM-IRの最新評価技術をご紹介致します。また、今回は参加者特典として、ブルカープローブ25%OFFクーポンをプレゼント致します。
皆様のご参加を心よりお待ちしております。
12:30~13:00 受付
13:00~13:10 「Welcome and Introduction」
ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 統括部長
鈴木 大輔
13:10~14:00『ナノデバイスの物性・信頼性研究におけるAFM活用事例とEUV世代での期待』
九州大学大学院システム情報科学研究院
附属 価値創造型半導体人材育成センター 教授
EUVフォトン株式会社 技術アドバイザー
近藤 博基 先生
14:00~14:50『パワーデバイス用SiC半導体における欠陥制御 -SiC結晶成長表面の観察を通して―』
関西学院大学 工学部
教授 大谷 昇 先生
14:50~15:20 休憩 (レクリエーション、交流)
簡単なお茶とお菓子を用意しております。 参加者の皆様での情報交換の機会としていただけれ幸いです。
15:20~15:45『CIPT(Current In-Plane Tunneling)測定を用いた磁気抵抗効果素子評価
・SmartCoat 🄬高分解能MFMプローブについて』
巴工業株式会社 機能材料部
小林 昭史 様
15:45~16:10 『AFMを用いたエレクトロデバイスの評価』
ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーション部 寺山 剛司
16:10~16:35 『<5nmの水平分解能を達成するAFM-IRの最新技術』
ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 アプリケーション部 横川 雅俊
16:40~16:55『クロージング・ご案内』
ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部 営業部 荒尾 昌樹
日時:2025年3月25日(火) 13:00~17:00 (12:30受付開始)
会場:アットビジネスセンター東京駅八重洲通り 501号室 〔→交通アクセス〕
〒104-0032 東京都中央区八丁堀1-9-8 八重洲通ハタビル 5階
■ JR 東京駅(八重洲口)より徒歩約10分
■ 地下鉄 日比谷線 八丁堀駅より徒歩2分
定員:50名
対象:ブルカーに限らずAFMをお使い、またはご検討のお客様、測定技術に興味のある方、これから携わりたい方等々
【東京会場】 開催日:2025年3月25日(火)
会場:アットビジネスセンター東京駅八重洲通り 501号室
〔→交通アクセス〕
〒104-0032 東京都中央区八丁堀1-9-8 八重洲通ハタビル 5階
■ JR JR東京駅(八重洲口)より徒歩約10分、
■ 地下鉄 日比谷線 八丁堀駅より徒歩2分
ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部
TEL : 03-3523-6361
E-mail:info-nano.bns.jp@bruker.com