オンデマンド セッション: 三次元白色干渉型顕微鏡による電子材料測定＜最前線＞ウェビナー

近年の、電子材料の加工技術の高度化・高精密化に伴い、微細な表面形状の評価技術は、より高い精度・正確さが求められます。今回は電子材料をテーマに、短い測定時間で、非接触でナノからミリまで表面形状を観察できる三次元白色干渉型顕微鏡による測定原理やレーザー顕微鏡との違いや、メリット、マイクロエレクトロニクス分野の最新測定事例をご紹介致します。