Mapeo de la variación en el grosor de capas
La muestra, dos electrodos en un sustrato de vidrio, es un dispositivo de prueba para la electrólisis fotoinducida. Se compone de una monocapa bimetáloga con un gradiente de concentración a lo largo de la superficie. El sustrato de vidrio está recubierto por magnetrón de un doble Cu-Al-target.
Como las radiografías pueden pasar a través de la materia, XRF en general permite la determinación de espesores de capa. Utilizando micro-XRF, el análisis de capas (espesor y composición) se hace factible con resoluciones espaciales en la escala del micrómetro. El análisis de capas se basa fuertemente en la cuantificación de parámetros fundamentales atómicos y se puede mejorar mediante el uso de muestras estándar. Por lo tanto, los sistemas de capas "comunes", como los recubrimientos ENEPIG, los recubrimientos ZnNi o las capas de soldadura, donde los estándares están fácilmente disponibles se pueden medir con alta precisión, pero también se pueden probar nuevos sistemas de capas en un entorno de I+D.
Toda el área de muestra de 5 x 5 cm2 fue mapeada con una resolución espacial de 50 ms con un tiempo de medición de 50 ms por píxel. La distribución elemental de los elementos de capa Al y Cu muestra claramente el gradiente de concentración.
Los datos del mapa se cuantificaron para el espesor de Cu:Al en Si con un binning de 5x5 píxeles (con una resolución de 250 m para el análisis de espesor de capa). No hay muestras de referencia para estos nuevos sistemas de muestras. Con ello, la cuantificación se basó en parámetros fundamentales y los resultados coincidieron bien con las expectativas del fabricante.