레이어 두께 변형 매핑
유리 기판에 두 개의 전극을 두 개 인 샘플은 광유도 전기 분해를위한 테스트 장치입니다. 표면을 따라 농도 그라데이션을 가진 이중 금속 단층으로 구성된다. 유리 기판은 이중 Cu-Al-target의 자석 스퍼터링으로 코팅됩니다.
X선이 물질을 통과할 수 있으므로 XRF는 일반적으로 층 두께의 측정을 허용합니다. 마이크로-XRF를 사용하여 층 분석(두께 및 조성물)은 마이크로미터 스케일의 공간 해상도로 실현 가능하게 렌더링됩니다. 층 분석은 원자 기본 파라미터 정량화를 기반으로 하며 표준 샘플을 사용하여 개선할 수 있습니다. 따라서 ENEPIG 코팅, ZnNi 코팅 또는 솔더 레이어와 같은 "일반적인" 층 시스템은 표준이 쉽게 사용할 수 있는 높은 정확도로 측정할 수 있지만 R&D 환경에서는 새로운 층 시스템을 테스트할 수 있습니다.
5 x 5cm² 의 전체 샘플 영역은 픽셀당 50ms 측정 시간으로 50 μm의 공간 해상도로 매핑되었습니다. 층 원소 Al 및 Cu의 원소 분포는 농도 그라데이션을 명확하게 보여줍니다.
맵 데이터는 5x5 픽셀 binning (층 두께 분석에 대한 250 μm 해상도를 산출)로 Si의 Cu: Al 두께에 대해 정량화되었습니다. 이러한 새로운 샘플 시스템에 대한 참조 샘플은 없습니다. 이와 함께 정량화는 기본 매개 변수를 기반으로하고 결과는 제조업체의 기대와 잘 일치했다.