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オンデマンドセッション: ナノインデンテーションシステムを用いた薄膜微小部の機械的特性評価手法　～半導体材料を中心に～

薄膜やはんだなどの微小構造物の機械的特性評価における様々な課題を確認し、それらの課題の解決につながるアプローチを紹介します。

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ナノインデンター

ナノスケール・マイクロスケールにおける力学特性評価、トライボロジー特性評価において、高い性能、定量性、正確性、信頼性、多様性をご提供

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