拉曼显微光谱非接触表征无定形硅和微晶硅

薄膜硅广泛应用在太阳能板、光伏装置以及薄膜晶体管领域，例如用于制造TFT显示器。由于硅基太阳能电池属于可再生能源行业,提供了一种克服矿物能源消耗引起的全球变暖威胁的机会，因此在过去的几年中获得广泛关注。

特别是微晶层(μc Si:H)和无定形层(a-Si:H)堆叠的薄膜太阳能电池越来越多地用于光伏发电。由于原料和能耗上的节约进一步降低了成本，因此薄膜硅模块的生产消耗基本上低于基于晶片的结晶硅模块。

无定形和微晶硅

拉曼光谱，特别是拉曼显微光谱，是一种无损方法，非常适合于有高空间分辨率需要的非接触分析。因此，拉曼光谱被认为是表征薄膜硅层的有力手段。