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Ein speziell für Produktionsumgebungen weiterentwickeltes Rasterkraftmikroskop

Das Dimension FastScan-Pro-System verwendet eine Open-Access-Plattform, Halter für große oder multiple Proben sowie zahlreiche benutzerfreundliche Funktionen, um die flexibelste Hochleistungsmesslösung im Nano-Bereich für industrielle QA-, QC- und FA-Anwendungen bereitzustellen. FastScan-Pro-Funktionen:

  • Automatisierte 2- bis 12-Zoll-Wafer-Messungen für Halbleiter, Datenspeicher und HB-LED
  • Eine zuverlässige, bewährte Plattform, die speziell für den Einsatz in industriellen Umgebungen entwickelt wurde
  • Das Mikroskop bietet einen erhöhten XY-Probenweg für vollen Zugriff auf 200-mm-Wafer oder mehrere Proben im Bereich von 200 mm Durchmesser (optionale Spannfutter für 300-mm-Wafer)
  • 5-10x FastScan-Scanner mit hohem Durchsatz für Topographie-, Rauheits- und andere metrologische Analysen
  • Icon-Scanner mit 90-µm-Scanbereich für größere Scans und Topographieleistung mit hoher Genauigkeit
  • Optische und AFM-Bildmustererkennung mit Spitzenzentrierung zur Ausrichtung im Nanometerbereich

Automatisierungssoftware mit außergewöhnlicher Benutzerfreundlichkeit und höchster Leistungsfähigkeit

Die neue AutoMET™ Full-Recipe-Software bietet schnelle, automatisierte Messtechnik, einfache Bedienung und AFM-Anpassungsfähigkeit für die einfache Erfassung von in der Produktion benötigten qualitätskritischen Messungen.

  • Automatisierte Messungen an mehreren Proben oder einer einzelnen großen Probe zur Charakterisierung mehrerer Standorte im Nano-Bereich
  • Optische und AFM-Bildmustererkennung, Spitzenzentrierung, vollständige Wafer- oder Gitter-Mapping-Unterstützung und Bildplatzierungsgenauigkeit innerhalb einiger Nanometer
  • Umfassendes und dennoch einfaches Rezeptschreiben für fortgeschrittene Anwender oder Ingenieure, verfügbar für Echtzeit- und Offline-Verwendung
  • Einfaches Setup zum Ausrichten der Probe an Sonden- und Ausrichtungskorrekturen an der AFM-Umgebung
FastScan Pro Scanner head v1