評価・試験・計測

各種産業分野の分析・解析技術者・研究者向けの高性能・高精密な表面計測・3次元解析装置ソリューション

3D光学式プロファイラー

非破壊・非接触 3次元表面形状粗さの測定、検査、解析

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三次元計測機（焦点移動法式）

精密製造業のあらゆる分野における産業用品質保証

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OVERVIEW-filmtek

Ellipsometry and Reflectometry Systems

High-accuracy film measurement well beyond the thickness range and refractive index resolution of traditional ellipsometers/reflectometers

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顕微鏡搭載型ナノインデンター

ラマン、XRD、AFM技術を用いたナノ力学特性評価・ナノトライボロジー試験

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SEM/TEM搭載型ナノインデンター

SEM/TEM搭載型ナノインデンター

走査型電子顕微鏡・透過電子顕微鏡（SEM/TEM)中で定量的なナノ機械特性評価が可能なナノインデンター

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ナノインデンター

ナノスケール・マイクロスケールにおける力学特性評価、トライボロジー特性評価において、高い性能、定量性、正確性、信頼性、多様性をご提供

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Dektak触針式プロファイリングシステム

触針式プロファイリングシステム

表面粗さ特性評価、ステップ高さ測定、フィルム応力解析、薄膜の厚さ、応力、形状を計測

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トライボロジー(摩擦摩耗試験) / CMPプロセス・材料特性評価機

トライボロジー(摩擦摩耗試験) / CMPプロセス・材料特性評価機

摩擦、摩耗、材料の機械的特性の試験と測定

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