software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS Software

LEPTOS ist eine umfassende Softwaresuite für die Auswertung von Daten aus Röntgenreflektometrie (XRR), hochauflösender Röntgendiffraktometrie (HRXRD), Röntgenkleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall (GISAXS) und Resteigenspannung (RS).

Die Röntgenreflektometrie (XRR) liefert detaillierte Informationen über die senkrechte Dichteverteilung der Probe, die Schichtdicke und die Grenzflächenrauigkeit. Die hochauflösende Röntgendiffraktometrie (HRXRD) dient zur Messung der kristallographischen Struktur einer Probe. Röntgenkleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall (GISAXS) wird zur Auswertung von Nanopartikeln und Porosität verwendet. Eigenspannungsanalysen dienen zur Überprüfung des Dehnungszustandes von Bulkproben und polykristallinen Beschichtungen.

Zusammen mit konventionellen Einkurvenscans ermöglicht LEPTOS HRXRD- und XRR-Analysen im reziproken Raum, GISAXS und XRD² Stress Varianten sowie die Flächenabbildung von HRXRD-, XRR- und Eigenspannungsanwendungen. Dabei spielt es keine Rolle, ob die Daten mit einem 0D-, 1D- oder 2D-Detektor erfasst wurden.

 

Die grafische Benutzeroberfläche kann so angepasst werden, dass sie sowohl die Anforderungen der wissenschaftlichen Forschung als auch der industriellen Anwendung erfüllt.

  • Gemeinsame Auswertung von mehreren XRR-, HRXRD-, GISAXS- und RS-Messungen
  • Moderne Röntgenstreuungstheorien und numerische Schätzmethoden, Simulation und Fitting von Daten im direkten und reziproken Raum
  • Natürlich integrierte Verarbeitung von 1D- und 2D-Daten von Punkt-, Zeilen- und 2D-Detektoren
  • Universeller Probenmodelleditor zur Parametrierung aller Arten von Dünnschicht- und Bulkproben
  • Umfassende und erweiterbare Materialdatenbank mit allen 230 kristallographischen Raumgruppen
  • Flächenabbildungstool zur Anzeige und Auswertung der Messungen großer Probenareale
  • Moderne sin²ψ-Methode zur Analyse der Resteigenspannung von 1D- und 2D-Daten sowie multiple (hkl) Methode zur Auswertung des Spannungsgradienten von polykristallinen Beschichtungen