software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS R

LEPTOS R wurde für die Analyse von Röntgenreflektivitätsdaten (XRR) und die off-spekulare diffuse Streuung (DS) dünnschichtiger Strukturen konzipiert. Das Modul ist vollständig in die LEPTOS-Suite integriert, welche die gleichzeitige Analyse von HRXRD-, GISAXS- und XRR-Daten ermöglicht. Als Teil der LEPTOS-Suite besitzt das R-Modul alle Funktionen des Gesamtpakets.

 

LEPTOS R hat bei zahlreichen internationalen Vergleichen, einschließlich des VAMAS-Projekts A10, hervorragend abgeschnitten. Der Aufbau von LEPTOS R erfüllt den neuen internationalen rfCIF-Standard für das Datenformat von XRR-Daten.

LEPTOS R Software, XRD
With LEPTOS R diffuse scattering rods and rocking curves can be fitted both as a separate curve and as a consistent set of several curves in any combination of transverse and longitudinal scans.

Theorie

  • Dynamischer Parratt-Formalismus zur Berechnung der Reflektivität von Multischichtproben und Born-Näherung (DWBA) für Simulation/Fitting der off-spekularen diffusen Röntgen- streuung.
  • Vielfältige Grenzflächen-Rauigkeitsmodelle für Proben mit unterschiedlicher Wachstums- morphologie.
  • Operator-Methode für die universelle Berechnung der Röntgenstreuungs- parameter von kristallinen und amorphen Materialien, wie z. B. atomaren Streufaktoren, Röntgenpolarisierbarkeiten, etc.
  • Patentierte EigenWaves-Methode (MEW) für die unerlässliche Beschleunigung der Fits für die Übergitter und sich wiederholende Multischichten.

Probeneditor

  • Leistungsstarker und flexibler Probeneditor mit Tools für Übergitter, die Verbindung von physikalischen Schichtparametern und benutzerdefinierte Schichtprofile.
  • Umfassende, erweiterbare Materialdatenbank
  • Virtuelles Diffraktometer für die Geräteauflösung und Footprint-Effekte

Datenauswertung

  • Simulation und Fitting der off-spekularen, diffusen Röntgenstreuung durch mehrere vertikale und laterale Rauigkeits-Korrelationsmodelle: Sowohl spekulare als auch off-spekulare Daten können einheitlich angepasst werden.
  • Simulation, Schätzung und Fitting von Daten im direkten und reziproken Raum
  • Fast Fourier Transform (FFT) für eine schnelle Schätzung der Schichtdicken
  • Detaillierte Analyse durch Fitting mit genetischem Algorithmus, simulierter Abkühlung (Simulated Annealing), Simplex- oder Levenberg-Marquardt-Algorithmus.
  • Flächenabbildung; automatische Datenauswertung über Skriptschnittstelle

Datenausgabe

  • Abspeichern der Ergebnisse in XML-Projektdateien
  • Mehrere Berichtsoptionen und benutzerdefinierter Export