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オンデマンド セッション: 電気特性 中級コース 半導体解析の基礎 とコツ ~ SCM, SSRM, sMIMを用いた表面・界面の電気特性評価 ~

SCM, SSRM, sMIM を用いた半導体解析に関するウェビナーを企画しました。今回はブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。