オンデマンド セッション: AFMプローブの選び方＃4　 『ナノスケール電気的特性の測定用プローブ選択の基礎』

AFMを利用した試料の電気特性測定は広く使用されており、形状測定、機械的特測定に次ぐ比率を占めている。Contact mode, Tapping, modeおよびPeakForce Tapping modeを使用した、微小電流(CAFM)、広がり抵抗(SSRM)、静電容量（SCM）、表面電位(KPFM)、静電気力（EFM）等を測定するためのプローブ選択方法について解説します。（約25分）