オンデマンド セッション: 熱特性 局所熱分析 nanoTA ～原子間力顕微鏡(AFM)を利用したナノスケール熱分析手法の紹介～

半導体、光、磁気デバイス向けの構造や特性測定を、例えばウェハー面内の多数点で測定を行い、プロセス工程内の面内ばらつき確認や品質管理にAFMを用いるケースが増えてきています。単一条件による多数点測定から、測定位置毎に様々な測定を組み合わせる応用例まで多岐にわたります。このウェビナーでは、専用測定ソフトを使用した自動多点測定方法の概要について説明します。（約20分）2024年3月27日