Semiconductores y nanotecnología

Defectos y contaminación

Defectos y contaminación

Bruker ofrece una gama de productos de rayos X para determinar los defectos cristalinos y la contaminación de metales.

 

Bruker (y anteriormente Bede y Jordan Valley) es pionera en la imagenología digital por difracción de rayos X (XRDI) en la industria de los semiconductores para identificar los defectos fatales que causan la rotura de las obleas. El uso de este método se ha extendido a la identificación de defectos en otros sustratos que pueden afectar al rendimiento de los sustratos y dispositivos. Bruker también ofrece sistemas TXRF para sustratos de Si y SiC con el fin de identificar la contaminación metálica en sustratos; contaminación que resulta crítica para el rendimiento de la línea de producción.

Aplicaciones