Halbleiter & Nanotechnologie

Defekte & Verunreinigungen

Bruker bietet eine Reihe von Röntgenprodukten zur Bestimmung von kristallinen Defekten und Metallverunreinigungen an.

Defekte & Verunreinigungen

Bruker (und zuvor bede und Jordan Valley) waren Pioniere der digitalen Röntgendiffraktometrie (XRDI) in der Halbleiterindustrie, um sogenannte Killerdefekte zu erkennen, die zum Bruch von Wafern führen. Mittlerweile hat sich dies auf die Identifizierung von Defekten in anderen Substraten ausgeweitet, die die Ausbeute von Substraten und Geräten beeinträchtigen können. Bruker bietet auch TXRF-Systeme für Si- und SiC-Substrate zur Identifizierung von Metallverunreinigungen auf Substraten an, die für die Ausbeute der Produktionsanlage entscheidend sind.

Interessengebiete

Defekte & Verunreinigungen

CdTe-Untersuchung

Mithilfe der virtuellen Schlitze am QC-RT ist es möglich, die Probe in verschiedenen Modi abzubilden, um Kratzer, Verschiebungen und andere Defekte sichtbar zu machen, aber auch um Orientierungskontraste innerhalb des Substrats darzustellen.
Defekte & Verunreinigungen

Kristalline Defekte in Si-Substraten

Die Röntgendiffraktometrie (XRDI, auch Röntgentopographie genannt) wird zur Darstellung kristalliner Defekte in ansonsten perfekten (oder nahezu perfekten) Substraten verwendet
Defekte & Verunreinigungen

Kontrolle von Verunreinigungen

Die Verunreinigung durch Spurenmetalle ist ein stetig wachsendes Problem bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Verschmutzung ist besonders kritisch für fortschrittliche Technologieknoten.
Defects & Contamination

Failure Analysis

Failure analysis is an indispensable part of production control required in manufacturing semiconductor materials. Depending on the material and application, failure analysis can be divided into electrical, chemical, and mechanical tests, to investigate the root cause of a product or material failure.
Solar cell

Silicon Quality Control

Elemental impurities and disruptions of the crystal lattice have a profound impact on the optical and electrical properties of Silicon. FT-IR and micro-XRF are ideal analytical tools for quality control of such materials.
Applications_Semiconductor_Nanotech_GaAs_Diode

GaAs Impurity Analysis

Gallium arsenide is a fascinating semiconductor with extensive use in the manufacture of infrared light-emitting diodes, laser diodes, solar cells and other optoelectronics. Learn more about it's quality control.