EBSD分析における新時代の幕開け
オンデマンドウェビナー - 38分
史上最速、最高感度のEBSD検出器 eWARPをご紹介します
電子線後方散乱回折法（EBSD）はSEMを用いた微細構造分析において非常に重要な手法で、大学・民間企業を問わず広く用いられています。
1990年代にEBSD測定・解析が自動化されて以降、EBSDのハードウェア・ソフトウェアは大きく進化し、分析速度、空間分解能、データ品質は向上を続けてきました。しかし、従来のフォスファースクリーンを使用した方式での検出効率の制限のため、近年の性能向上は緩やかなものになっていました。
今回ブルカーが新規開発した直接電子検出型EBSD検出器 eWARPはEBSDに最適化されたハイブリッドピクセルセンサを備え、最高の検出効率と従来の限界を超える分析速度を持ちます。センサの特長や最新のアプリケーション例を通して、EBSD分析の枠組みを変える性能をご紹介します。
eWARPを用いることで超高速・低加速EBSDマッピングが可能になります。
ニッケル基超合金の結晶方位マップ 加速電圧：10 kV、プローブ電流：12 nA
ニッケル基超合金の結晶方位マップ 加速電圧：10 kV、プローブ電流：12 nA
スピーカー
ブルカージャパン株式会社 ナノ分析事業部
馬場洋樹