eWARP - 史上最速のEBSD検出器
Electrons Only - EBSDのために設計された直接電子検出器
eWARPは最先端の直接電子検出型EBSD検出器です。ブルカーが直接電子検出とCMOS技術を組み合わせて新規設計した革新的なセンサにより、eWARPは比類ない性能を発揮しEBSD分析を新しい段階へ導きます。
eWARPは市販製品で史上最速・最高感度のEBSD検出器です。加速電圧 10 kV、プローブ電流 12 nA程度のビーム条件でも、14,400 パターン/秒の圧倒的な速度でEBSDマップを測定します。
大型ピクセルによる卓越したフレームレート、SEMでの加速電圧に最適化されたセンサの高い変換効率により、eWARPは前例のない分析効率を提供します。
eWARPはQUANTAX EBSDシステムの新たな中核を担います。
eWARP, the revolutionary EBSD detector, combines direct electron detection and CMOS technologies to maximize productivity and data quality.
ブルカーのWide ARea Pixelated (WARP)センサーテクノロジを搭載した最新のEBSD検出器
Schematic representation of Bruker’s hybrid pixel sensor technology, a.k.a. Wide Area Pixelated (WARP) sensor.
eWARPの心臓部は、特許取得済みのオンチップビニング機能を搭載した世界初のCMOSセンサです。ビニング時は 最大 350,000 パターン/秒 の読み出しが可能です。 この圧倒的に高速なビニングモードでは、結晶方位コントラストと凹凸コントラストのミキシングが異なる5種類の前方散乱電子像 (FSE像)を同時取得することができます。
eWARPのユニークなビニング機能は新たなイメージング手法を創成する可能性を秘めています。
eWARPが実現したシグナル効率と高速化
eWARPのシグナル効率と高速化はEBSD法のゲームチェンジャーとなります。以下のようなアプリケーションでは特に大きなメリットが得られます。
- 3D EBSD – プラズマFIB-SEMを用いたより広範囲の3次元測定をより速く、より高解像度で
- 時系列EBSDマッピング – EBSDマップや散乱電子像を数秒ごとに記録し、in-situ加熱試験や力学特性評価中の微細構造の変化を追跡
- 広域EBSDマッピング – より大きなサンプルをより高解像度で
- ビームダメージを受けやすいサンプル – 穏やかなビーム条件でのEBSDマップ測定
- マルテンサイト相、強く変形した金属、合金など – 10 kVなどの低加速電圧でインタラクションボリュームが抑制した高品質データ
- 空間分解能の向上 – 低加速電圧・低プローブ電流で微細な結晶粒の形状を明らかに
- データ信頼性の向上 – 絶縁体試料でもチャージアップを抑えて安定した分析
eWARP - EBSD 新時代の夜明け
eWARP 製品紹介ウェビナー
ブルカー独自のセンサー技術を搭載した史上最速・最高感度のEBSD検出器 eWARPとさまざまなアプリケーションでの実例 をご覧ください。
Enter the New Era of EBSD with eWARP.