SOLUCIONES XRF

ML plus

Análisis de Capas Finas y Multicapas mediante XRF

El espesor de capa y composición química de muestras multicapa pueden ser fácilmente determinados con Fluorescencia de Rayos X (XRF). Las muestras con capas son analizadas directamente en el espectrómetro de Fluorescencia de Rayos X por Dispersión de Longitudes de Onda S8 TIGER.

MLPlus amplía SPECTRAPlus para el análisis de muestras con una sola capa o multicapas con Fluorescencia de Rayos X por Dispersión de Longitudes de Onda (WDXRF). Permite la determinación directa de espesores y composición de muestras recubiertas desde varias capas atómicas (menos de 1 nm) hasta el rango de µm e incluso de mm.

MLPlus usa la aproximación por Parámetros Fundamentales para todos los cálculos. La determinación de espesor y composición en MLPlus está basada en la calibración Standardless de ESPECTRAPlus, p.e. no se requiere ningún patrón estándar multicapa. Sin embargo, cualquier patrón estándar multicapa puede ser usado para optimizar los resultados.

MLPlus puede ser usada para evaluación automática después de cada medida individual una vez configurado el modelo. Esto permite tener disponible el análisis multicapa para control de proceso rutinario, p.e. en la producción de vidrios o aceros recubiertos.

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