XRF ソリューション

ML plus

XRFによる多層膜・薄膜の分析

多層膜試料の層厚や化学組成は、MLplusで簡単に解析できます。ML plusは、波長分散型蛍光X線分析装置(WDXRF) S8 TIGERで使用可能です。

MLplusはSPECTRAplusを拡張し、波長分散型蛍光X線分析(WDXRF)による単層および多層試料の分析を可能にしました。これにより、数原子層(1nm以下)からµmあるいはmmまでの薄膜試料の厚さや組成を直接測定することができます。

MLplusでは、ファンダメンタル・パラメータ法により解析を行います。MLplusの厚さと組成の決定は、SPECTRAplusのスタンダードレス分析に基づいています。特定の多層膜標準は必要ありません。もちろん、結果を最適化するために、様々な多層膜標準物質を登録して使用することもできます。

MLplusは、モデルを設定した後、1回の測定ごとに自動評価を行うことができます。多層膜解析は、層状ガラスやメッキ試料といったコーティングなど、日常的なプロセスコントロールに利用できます。