SI BrickScan

El SiBrickScan (SBS) es un sistema específico at-line para la cuantificación FT-IR de oxígeno intersticial en lingotes de silicio. El resultado es un perfil de concentración a lo largo del eje longitudinal. Acceder a esta información sin serrar obleas o muestras de prueba supone una gran ventaja y menos costes.

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Información valiosa para verificar y optimizar la calidad del producto

El conocimiento del gradiente de oxígeno de los lingotes de silicio permite extraer conclusiones importantes para, por ejemplo, controlar y optimizar el proceso de cristalización o para identificar lotes defectuosas. Por lo tanto, el SiBrickScan es una herramienta importante para ahorrar costes al optimizar la calidad del producto y reducir el número de obleas defectuosas. El muestreo aleatorio de lingotes individuales reduce drásticamente el esfuerzo de preparación de la muestra y proporciona la información relevante mucho antes.

Máxima sensibilidad de medición gracias a la espectroscopia FT-IR de última generación

La cuantificación FT-IR de oxígeno intersticial en silicio (ASTM/SEMI 1188) es un método de análisis establecido e importante que, sin embargo, se limita espesores de muestra en un rango de mm bajo. El SiBrickScan (SBS) supera esta limitación y es el primer sistema completamente dedicado disponible en el mercado para determinar el gradiente de oxígeno en lingotes completos a lo largo de su eje principal sin necesidad de preparar muestras de ensayo delgadas que requieren mucho tiempo. Para ello, el SBS analiza y evalúa de forma inteligente el sobretono de una banda de absorción de infrarrojos utilizando la tecnología FT-IR fiable y de última generación de Bruker.

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Versiones específicas del SBS para diferentes tipos de lingotes

El SBS está disponible para lingotes PV estándar rectangulares policristalinos o monocristalinos (sección ~156 x 156 mm2) así como para lingotes cilíndricos con un diámetro de ~150 mm (6") o ~200 mm (8"). Sistemas para otros diámetros o formas pueden estar disponibles a petición.

Diseño robusto y compatible con la industria

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Un robusto y preciso accionamiento lineal controla automáticamente la posición de medición del lingote. Dependiendo de la configuración y del tipo de lingote, la concentración de oxígeno puede determinarse con una resolución espacial de hasta ~12 mm a lo largo del eje del lingote. Los mecanismos de bloqueo fiables y seguros eliminan el riesgo de que el operador entre en contacto con las piezas móviles.

Software de manejo intuitivo y fácil de usar

El SiBrickScan (SBS) incluye una interfaz gráfica de usuario intuitiva y optimizada para el entorno industrial. Incluso los trabajadores de producción normales pueden aprender el procedimiento operativo estándar en cuestión de minutos: una vez cargado el lingote, basta elegir la receta de análisis deseada e iniciar la medición. La medición, incluida la evaluación de datos, se realiza automáticamente.

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Innovadora trayectoria del haz de alta sensibilidad con muestra de referencia incluida

Una trayectoria única e innovadora del haz infrarrojo garantiza la máxima sensibilidad de medición posible. Una muestra de referencia de alta calidad ya viene incluida en el instrumento y la medición de referencia se realiza automáticamente.

Opciones de detectores de acuerdo con los requisitos del cliente

El SBS está disponible con un detector refrigerado Stirling que funciona sin nitrógeno líquido. También está disponible una versión opcional del SiBrickScan con detector refrigerado por nitrógeno líquido que incluye un dispositivo de recarga automática.

Cuantificación de oxígeno intersticial sin la preparación de muestras de ensayo finas

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El SiBrickScan permite el análisis de oxígeno intersticial en lingotes de silicio de hasta 500 mm de longitud. Esta valiosa información permite optimizar el proceso de cristalización, así como calificar los lingotes individuales antes del aserrado.

Calibración de alta calidad directamente relacionada con ASTM/SEMI 1188

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La evaluación de oxígeno SBS utiliza una calibración directamente relacionada o derivada de ASTM/SEMI 1188. Dado que la correlación de ambos métodos es casi perfecta, la concentración de oxígeno intersticial puede cuantificarse con la máxima precisión.

Máxima sensibilidad de detección con el SBS

Dependiendo de la forma y las propiedades de la muestra (como la resistencia), el SiBrickScan puede alcanzar límites de detección de oxígeno intersticial < 2ppma (< 1017/cm3). Si está interesado en un estudio de viabilidad, póngase en contacto con su representante local de Bruker.