Analyseur de lingots de Silicium

SiBrickScan

Banner SiBrickScan Silicon Analyzer

Caractéristiques

Analyseur de lingots de silicium SiBrickScan (SBS)

SiBrickScan (SBS) est un système dédié « at-line » pour la quantification IRTF d’oxygène interstitiel dans des lingots de silicium complets, résultant en un profil de concentration le long de l’axe longitudinal. L'accès à ces informations sans avoir à scier de plaquettes d’échantillons d’essai est un avantage majeur permettant de faire des économies.

 

 

Obtenir de précieuses informations pour contrôler et optimiser la qualité du produit

Le fait de connaître le gradient en oxygène des lingots de Si permet de tirer d'importantes conclusions, p. ex. pour contrôler et optimiser le processus de cristallisation du silicium ou pour identifier des lots de mauvaise matière première. C’est la raison pour laquelle SBS contribuera à faire des économies en optimisant la qualité du produit et en réduisant la quantité de plaquettes défectueuses. L'échantillonnage aléatoire de lingots individuels réduit fortement le temps de préparation des échantillons et permet d'obtenir des informations pertinentes beaucoup plus tôt.

 

Sensibilité maximale par spectroscopie IRTF dernier cri

La quantification de l’oxygène interstitiel par spectroscopie IRTF (ASTM/SEMI 1188) est une méthode d'analyse importante bien connue mais limitée aux fines tranches d’échantillon de Si ne mesurant que quelques mm.

SiBrickScan (SBS) dépasse cette limitation et est le premier système complètement dédié disponible dans le commerce pour déterminer le gradient d'oxygène dans des lingots entiers le long de leur axe principal sans perdre de temps avec une préparation destructrice de fines lames d’échantillon.

SBS utilise intelligemment une harmonique de bande d'absorption infrarouge correspondante combinée à une technologie IRTF fiable et de pointe de Bruker.

Applications

Applications

Quantification de l’oxygène interstitiel sans préparation d’échantillons minces

BrickScan permet d’analyser l’oxygène interstitiel dans des lingots de silicium jusqu’à une longueur de 500 mm. Ces précieuses informations permettent d'optimiser le processus de cristallisation ainsi que de qualifier les lingots individuels avant le sciage.

Étalonnage de haute qualité directement lié à ASTM/SEMI 1188

L'évaluation de l’oxygène SBS utilise un étalonnage qui est directement lié à/dérivé d’ASTM/SEMI 1188. Étant donné que la corrélation des deux méthodes est quasi-parfaite, la concentration d'oxygène interstitiel est évaluée avec une grande précision.

 

Sensibilité maximale de détection avec SBS

En fonction des propriétés et de la forme de l’échantillon (p. ex. résistance) SBS peut atteindre des limites de détection de l’oxygène interstitiel < 2 ppma (< 1017/cm3).

Si vous êtes intéressé par des mesures de test de faisabilité, veuillez contacter votre représentant Bruker régional.

Spécifications

Spécifications

Versions SBS dédiées pour différents types de lingots

SBS est disponible pour des lingots PV carrés standard monocristallins ou polycristallins (coupe transversale de ~156 x 156 mm2) ainsi que des lingots cylindriques de Si, par exemple d'un diamètre de ~150 mm (6") ou ~200 mm (8"). Des systèmes pour d’autres diamètres et formes peuvent être disponibles sur demande.

 

Design robuste et compatible pour l’industrie

Un entraînement linéaire précis et robuste contrôle automatiquement la position de mesure du lingot : en fonction de la configuration et du type de lingot, une résolution d’oxygène spatiale de ~12 mm peut être obtenue le long de l’axe du lingot.

Des mécanismes de verrouillage fiables et sûrs excluent le risque que l’opérateur entre en contact avec des pièces en mouvement.

 

Interface logicielle intuitive et simple d'utilisation

SiBrickScan (SBS) comprend une interface utilisateur graphique intuitive dédiée optimisée pour l’environnement industriel. Pour les employés de production normaux, la procédure de fonctionnement standard peut être apprise en quelques minutes : il suffit de charger le lingot, de choisir la recette d'analyse désirée et de commencer la mesure. La mesure à proprement parler se fera ensuite automatiquement, y compris l’évaluation des données.

Trajet optique de haute sensibilité innovant avec un échantillon de référence intégré

Un trajet optique infrarouge innovant unique garantit une sensibilité de mesure maximale. Un échantillon de référence de grande qualité est déjà compris dans l'instrument et la mesure de référence se fait automatiquement.

 

Options de détecteur selon les exigences des clients

SBS est disponible avec un détecteur refroidi "effet Stirling", fonctionnant sans azote liquide.

En option, SiBrickScan peut également être proposé avec un détecteur refroidi à l'azote liquide et comprenant un dispositif de remplissage automatique.

Plus d'informations

Informations complémentaire sur l'analyseur de Silicium

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