실리콘 Ingot 분석기

Silicon Ingot Analyzer

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특징

Silicon (SBS) Ingot 분석기

SiBrickScan (SBS)은 완전한 실리콘 고국에서 중간 산소의 FT-IR 정량화를위한 전용 라인 시스템으로 세로 축을 따라 농도 프로파일을 생성합니다. 웨이퍼 나 테스트 샘플을 톱니없이이 정보에 액세스하는 것은 주요 비용 절감 이점입니다.

 

제품 품질을 확인하고 최적화를 위한 정보를 확인하세요.

Si ingots의 산소 그라데이션을 알면 실리콘 결정화 공정을 제어 및 최적화하거나 나쁜 원료의 배치를 식별하는 등 중요한 결론을 내릴 수 있습니다. 따라서 SBS는 제품 품질을 최적화하고 결함이 있는 웨이퍼의 양을 줄임으로써 비용을 절감하는 데 도움이 될 것입니다. 개별 받은 반주의 무작위 샘플링은 샘플 준비 노력을 강력하게 줄이고 관련 정보를 훨씬 일찍 제공합니다.

 

최첨단 FTIR 분광기에 의한 최고 감도

FT-IR 분광법(ASTM/SEMI 1188)에 의한 간질 산소 정량화는 잘 알려져 있고 중요한 분석 방법이지만, 저mm 범위에서 얇은 시료로 제한된다. SiBrickScan (SBS)은 이러한 한계를 극복하고 시간이 많이 소요되고 파괴적인 얇은 샘플 준비없이 주요 축을 따라 완전한 고착지의 산소 그라데이션을 결정하는 최초의 상용 전용 시스템입니다. SBS는 신뢰할 수 있고 최첨단 브루커 FT-IR 기술과 결합된 관련 적외선 배음 흡수 밴드를 현명하게 사용합니다.

응용

응용 프로그램

얇은 시료의 준비 없이 중간 산소의 정량화

SiBrickScan은 최대 500mm 길이의 실리콘 잉곳에서 간질 산소를 분석할 수 있습니다. 이 정보는 선별 전 개별 잉곳의 자격뿐만 아니라 결정화 공정의 최적화를 가능하게 합니다.

ASTM/SEMI 1188에 직접 연결된 고품질 교정

SBS 산소 평가는 ASTM/SEMI 1188에서 직접 연결/파생된 교정을 사용합니다. 두 방법의 상관 관계는 거의 완벽하기 때문에, 간질 산소 농도는 가장 높은 정확도로 평가됩니다.

 

SBS에서 가장 높은 검출 감도

시료 형상 및 특성(예: 저항)에 따라 SBS는 간질 산소 검출 한계 & 2 ppma(&1017/cm3)를달성할 수 있다. 타당성 테스트 측정에 관심이 있으시면 해당 지역의 브루커 담당자에게 문의하십시오.

사양

사양

다양한 INGOT 유형에 대한 전용 SBS 버전

SBS는 폴리 또는 모노 결정 표준 정사각형 PV INGOTs(단면 ~156 x 156 mm2)뿐만아니라 ~150mm(6") 또는 ~200mm(8") 직경의 실린린드릭 시 인덕트에 사용할 수 있습니다. 요청 시 다른 직경 및 셰이프에 대한 시스템을 사용할 수 있습니다.

업계 호환 및 견고한 설계

견고하고 정밀한 선형 드라이브는 자동으로 인고 측정 위치를 제어합니다: 구성 및 인고 유형에 따라 ~12mm의 공간 산소 분해능을 받은 축을 따라 달성할 수 있습니다. 안정적이고 안전한 연동 메커니즘은 작업자가 움직이는 부품과 접촉하는 위험을 제외합니다.

직관적이고 사용하기 쉬운 소프트웨어 인터페이스

SiBrickScan (SBS)에는 산업 환경에 최적화 된 전용 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한 일반 생산 작업자에 의해 표준 작동 절차는 몇 분 이내에 학습 할 수 있습니다 : 단순히 고착을로드, 원하는 분석 조리법을 선택하고 측정을 시작합니다. 그런 다음 데이터 평가를 포함하여 측정 자체가 자동으로 수행됩니다.

포함된 기준 샘플이 포함된 혁신적인 고감도 빔 경로

독특하고 혁신적인 적외선 빔 경로는 최고 측정 감도를 보장합니다. 고품질 기준 샘플은 이미 계측기에 포함되어 있으며 기준 측정이 자동으로 수행됩니다.

고객 요구 사항에 따른 검출기 옵션

SBS는 액체 질소와 독립적으로 작동하는 스털링 냉각 검출기와 함께 사용할 수 있습니다. 선택적으로 SiBrickScan은 자동 리필 장치를 포함하여 액체 질소 냉각 검출기로 주문할 수 있습니다.

추가 정보

실리콘 분석기 관련자료

관련 자료를 다운로드하여 실리콘 분석기 및 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.