El rendimiento analítico de los instrumentos de Micro-XRF depende de las condiciones de medición. Los parámetros deben ser seleccionados cuidadosamente según la tarea requerida:
Resolución espacial
La resolución espacial de una medición sensible a la posición está influenciada por diferentes factores como el tamaño de punto focal, el tamaño de paso y la intensidad medida.
Tamaño de punto focal
El tamaño de punto focal es uno de los principales factores que influye en la resolución espacial de las imágenes. Normalmente se mide con el método del filo del cuchillo. Esta técnica mide la intensidad de haz en función de la posición mientras se realiza un escaneo de línea a lo largo del filo de un material.
Tamaño de paso
Otros factores que influyen en la resolución espacial de las imágenes de distribución de elementos son el tamaño de píxel y el contraste entre píxeles. En Micro-XRF, el tamaño de píxel está determinado no solo por el tamaño del punto focal sino también por el tamaño de paso. La resolución espacial mejora cuando el tamaño de paso es menor que el tamaño del punto focal. Por otro lado, un nivel mínimo de intensidad es necesario para obtener un buen contraste entre píxeles vecinos. La intensidad de píxel se puede cambiar variando el tiempo de adquisición por píxel. De acuerdo con esto, el tamaño de paso y la intensidad de píxel deben ser optimizados para un tamaño de punto focal determinado.