三次元白色干渉型顕微鏡による電子材料測定＜最前線＞ウェビナー
近年の、電子材料の加工技術の高度化・高精密化に伴い、微細な表面形状の評価技術は、より高い精度・正確さが求められます。今回は電子材料をテーマに、短い測定時間で、非接触でナノからミリまで表面形状を観察できる三次元白色干渉型顕微鏡による測定原理やレーザー顕微鏡との違いや、メリット、マイクロエレクトロニクス分野の最新測定事例をご紹介致します。
ウェビナー要約
これまで原子間力顕微鏡（AFM）は半導体各工程において、ウェーハーの表面粗さ、凹凸形状、欠陥、膜厚の自動測定から、不純物濃度や機械・化学特性の微細解析迄、多種多様な目的に使われてきました。本ウェビナーでは特に近年実用化された技術を中心に、AFMのみならずX線評価技術・装置も併せて紹介致します。製品開発のみならず材料、素材、分析技術、製造装置など半導体に関わる多種多様な分野の方に興味を持っていただけるセミナーです。 220318 所要時間：30分
【概要】近年の、電子材料の加工技術の高度化・高精密化に伴い、微細な表面形状の評価技術は、より高い精度・正確さが求められます。今回は電子材料をテーマに、短い測定時間で、非接触でナノからミリまで表面形状を観察できる三次元白色干渉型顕微鏡による測定原理やレーザー顕微鏡との違いや、メリット、マイクロエレクトロニクス分野の最新測定事例をご紹介致します。
＜こんな方におすすめ＞
• レーザー顕微鏡での評価に不十分と感じている方
• 品質管理に課題をお持ちの方
• これからエレクトロ業界に進出したい方
• 600x600基板計測を視野に入れている人
• データの再現性を求める方
• 非接触での評価にご興味のある方
• 品質管理レベルをより高めたい方
このウェビナーで紹介された技術、または当社の光学式プロファイル測定ソリューションの詳細については、こちらをご覧ください：
